求购:单晶硅片;
数量:50万/月;
技术要求:2.1 长晶方式: MCZ或CZ
2.2 硅纯度: >99.9999%
2.3 导电类型: P型
2.4 掺杂物: 硼
2.5 氧浓度: ≤1×1018atoms/cm2
2.6 碳浓度: ≤5×1016atoms/cm2
2.7 晶向: <100>±3°
2.8 少子寿命: 单晶τ≥10μs (需经过特殊表面处理后所测值)
2.9 位错密度: < 3000个/cm2
2.10电阻率: 1.0Ω?cm~3.0Ω?cm或3.0Ω?cm~6.0Ω?cm (两种规格应分开注明)
2.11尺寸
2.11.1 尺寸:125mm±0.5×125mm±0.5
2.11.2 厚度: 210μm~240μm
2.11.3 TTV: ≤35μm
2.11.4 相邻两边的垂直为: 90°±0.3°
2.11.5 单晶片四个倒角中圆弧面上、下宽度<1mm,对角宽度相差<1.5mm
2.12外观
2.12.1 表面无明显沾污、色斑
2.12.2 不能有线痕
2.12.3 无可视裂纹
2.12.4 不能有穿孔现象
2.12.5 崩边:深度≤0.5mm,长度≤1.0mm (崩边允许范围内的比例占同一批次货物总数的2%以下)
2.12.6 不能有V型缺口和缺角
2.12.7 目测无弯曲现象